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国内首台基于DPSS激光器的OLED剥离设备研发成功
  • 发布日期:2023-08-07     信息来源:公司新闻      浏览次数:852
    •   激光剥离(Laser-Lift-Off)作为柔性OLED制程的核心工艺之一,长期被韩国设备供应商所垄断。亚威艾欧斯通过引进技术再创新,与德国通快公司密切合作,大幅缩短了研发进程,在关键指标和工艺性能方面均达到进口设备水平。
       
        我司DPSS-LLO激光剥离设备的研制成功,标志着先进激光技术的应用在国产化进程中取得了重要突破。
       
      【DPSS激光剥离设备】
       
        DPSS激光剥离是指通过固体纳秒紫外激光辐照,实现有机发光显示器件(PI膜)与搭载的玻璃基板分离,与传统的准分子脉冲激光剥离相比,具有能量输入稳定、生产效率高、不需要定期更换工作气体等优势。
       
        据媒体报道Samsung Display其A3线主要采用了DPSS LLO设备,因DPSS技术较准分子激光器使用和维护成本低,并可以减少设备采购总数量。
       
      【激光剥离工艺示意图】
       
        亚威艾欧斯激光剥离设备搭载的DPSS激光光学系统,能量利用率达85%以上。中德韩联合研发的“Z”型折叠光路,将整个线光斑光学系统长度缩短30%。该系统整形后的线光斑长度400-750mm(可调节)、宽度30μm,可同时应对黄色和透明PI两种产品的激光剥离工艺,且工艺品质及加工效率有大幅度提升。
       
      【光路示意图】
       
      【线光斑】
       
      【激光剥离柔性显示屏样品】
       
        亚威艾欧斯激光剥离设备,已对国内数家显示面板厂商提供的样品进行了测试,效果良好,达到客户技术要求。
       
        随着显示面板企业对使用成本和效率要求的不断提高,导入DPSS激光剥离工艺是大势所趋,亚威艾欧斯将继续努力并与客户密切协同,加快实现量产交付,为柔性OLED制程关键设备的进口替代做出贡献。

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